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使用三维光纤探头的测量可以在单点和扫描模式下进行，特殊的探头系统可用于扫描模式，能够可靠地检测工件表面的轮廓曲线，例如通过预设轮廓的螺旋式扫描，也可提供有角度的微型探头，例如用于测量内部几何形状，也可使用双球扫描仪，以避免与光圈有关的测量偏差，结合相应的精确的坐标测量机，如Werth VideoCheck® UA，可提高精度